클래드재 전극층을 포함하는 정전척의 제조방법 및 이에 의해 제조된 정전척

기술 요약기존 정전척은 반복되는 가열/냉각으로 인한 열 응력과 낮은 열전도성으로 수명 단축 및 생산 효율 저하 문제가 있었습니다. 본 기술은 알루미늄 및 탄소계 나노 재료를 활용한 클래드재 전극층 제조 방법을 제안합니다. 이를 통해 고열전도성, 내열충격성, 경량성을 갖춘 정전척을 구현하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 효율을 획기적으로 개선합니다. 이 정전척은 기존 제품 대비 3배 높은 열전도성 및 300% 향상된 인장강도를 제공하며, 단순화된 공정으로 경제성까지 확보하였습니다. 본 기술로 귀사의 반도체 생산 혁신을 이루십시오.